LIGA相关论文
文章从中尺度气象数据分析入手，对海上和陆上风电场发电量的预测进行分析研究，具体阐述了该方法对风电场的限定条件，通过分析中尺度数......
LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高......
本文利用ICP硅深层刻蚀工艺,制备了一种全新的LIGA掩模板.与一般的LIGA掩模板比较,该掩模板的最大特色在于其支撑层和吸收层都是由......
LIGA技术是微加工技术的一个重要手段,有着其它技术所不能够相比的优越性能.BSRE自1993年起开展了这项技术的研究工作,经历了近十......
该文给出了将IC工艺与LIGA工艺相结合，在硅基材料上以镍金属为结构材料制作高性能微加速度传感器的研究结果。由于采用了金属材料，器......
With the rapid development of medical technology,3D printing technology with realistic representation can perfectly disp......
AIM: To observe the protective effect of glucagon-like peptide-2(GLP-2) on the intestinal barrier of rats with obstructi......
介绍了一种用于准分子激光深层光刻实验装置的设计，并将该装置成功地应用于ＬＩＧＡ工艺的深层光刻中，光刻实验表明准分子激光层光刻具有很大......
采用LIGA工艺制作的高性能MEMS毫米波滤波器是当今无线通信领域具有挑战性的课题之一。与传统的微带传输线不同，该MEMS毫米波滤波器......
Primary liver cell carcinoma (PLCC) or Hepatocellular carcinoma (HCC) is the most common primary malignant liver tumor i......
纳米压印光刻技术已被证实是纳米尺寸大面积结构复制的最有前途的下一代技术之一.这种速度快、成本低的方法成为生物化学、μ级流......
ＬＩＧＡ工艺技术包括光刻、电铸和塑铸３个重要环节。而深层同步辐射光刻掩膜技术是Ｘ射线光刻应用的关键之一。我们采用聚酰亚胺为衬基，以电铸......
ＩＧＡ技术是纳米微米制造技术中，最有前途，最有生命力的方法，最近几年发展较快。本文对ＬＩＧＡ微制造技术做了较全面的介绍，并对光源、光刻胶、电铸......
The aim of this study was to analyze the majority of publications using effective methods to speed up orthodontic treatm......
Management of digestive bleeding related to portal hypertension in cirrhotic patients:A French multi
AIM: To investigate the conformity of management practices of gastrointestinal hemorrhage in cirrhotic patients with rel......
三维微细加工中的ＬＩＧＡ技术是被国际上公认为最有发展前途的一种微机械零部件加工工艺技术，但在我国与之配套的辅助工艺尚不完善，因而限制......
对于带有微型结构模型制件的注塑成型工艺,采用类LIGA精微注塑成型是一种低成本高成效的途径。详细阐述了制备模制件骨架的类LIGA......
The possibility to carry out Cu-catalyzed cross-couplings under ligandless conditions was studied.It was found that by u......
Four cobalt supramolecular architectures with Hmtyaa(2-(5-methyl-1,3,4-thiadiazol-2-ylthio)acetic acid) ligand have been......
AIM:To report the prevalence of Subsquamous intestinal metaplasia(SSIM)in patients undergoing endoscopic mucosal resecti......
该文给出了将IC工艺与LIGA工艺相结合，在硅基材料上以镍金属为结构材料制作高性能微加速度传感器的研究结果。由于采用了金属材料，器......
本文利用ICP硅深层刻蚀工艺,制备了一种全新的LIGA掩模板.与一般的LIGA掩模板比较,该掩模板的最大特色在于其支撑层和吸收层都是由......
本论文的第一章介绍了LIGA技术的基本知识和LIGA技术的发展方向和LIGA技术对同步辐射光光源、波长、能量分布的要求，说明了同步辐射......
介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究,讨论了微流量计的结构和工作原理,设计和研制了......
深X射线光刻是制作高深宽比MEMS结构的一个重要方法。提出一种基于硅工艺和双面对准技术的LIGA掩模技术 ,工艺十分简单。采用该掩......
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该......
研究了Ni MoS2 自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌 ,并分析其摩擦特性 ,发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩擦系数影响较大 ;......
Acidity-triggered TAT-presenting nanocarriers augment tumor retention and nuclear translocation of d
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
气道黏液高分泌足慢性气道疾病如慢性阻塞性肺疾病、支气管哮喘、肺囊性纤维化、支气管扩张等共同而重要的病理特征之一,与气道疾......
微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术,包括表面微加工技术和体微加工技术。其中体微加工技术......
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设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关。通过理论分析和ANSYS仿真，揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的......
综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展.比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用.简要分析了微细电火花加工的关键技......
光谱仪作为一类重要的测试仪器,随着微光机电系统的发展,其微型化趋势日益明显.光谱仪的小型化趋势可以追溯到20世纪90年代,经过十......
对１３例门脉高压症合并食管静脉曲张出血和脾功能亢进的患者实施２内镜曲张静脉大扎－部分脾栓塞术联合治疗。效果如下：１３例患者曲张静脉均完......
对二甲基丙烯酸酯进行原子转移自由基(ATRP)交联聚合,通过示差扫描量热方法研究了过渡金属卤化物、配体和反应温度对二甲基丙烯酸......
本文从LIGA工艺的工程应用角度,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题,初步分析了这两类......
介绍了一种制作 含有有固体润剂的自油微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用，能够有......
介绍了用ＬＩＧＡ技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中，Ｘ光掩模板图形的ＣＡＤ设计。它包括微齿轮的建模和图形的生成，微齿轮图形的分割及图......
通过LIGA技术与微细电火花技术相结合，可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构，这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围......
研究了Ni-MoS2自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌，并分析其摩擦特性，发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩察系数影响较大；即使MoS......
太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域......
对十二个Ｐｔ２Ｍ２四核异金属簇化合物进行了量子化学ＤＶ－Ｘα方法的计算与讨论，探讨了这些原子簇的成键规律，它们大致可分为三类：Ｐｔ与Ⅷ族金属形成的四......
提出了用于电子纸的微结构金属模具的＂选择生长＂方法,即通过在金属基材上形成选择性的导电与不导电图形,来制作深纹的＂微杯＂金属模具。......
<正> 微型结构技术,有着很大的应用潜力,这一点已通过许多著名的研究工作得到证实。但是,真正转换为产品,还是处于起步阶段。至今......
微型构件不仅可以用硅工艺制造,而且可以通过精密工程、激光烧蚀、微电子放电加工、RIE和LIGA技术等许多其他技术来完成.本文展示......
